E2_産総研九州センター研究講演会～センシングが実現するものづくり～

モノづくりのあらゆる場面の計測を可能にしてきたセンシング技術の開発ストーリー、そしてその応用としての新規加工技術、DX化、そしてロボット導入の実例を紹介します。現場のリアルなニーズに応えてきたセンシング技術によって、様々な技術をつなげ、新しいモノづくりの世界をひろげている研究者の考え方にふれてください。

【開会挨拶】10:30～10:40
●産業技術総合研究所　九州センター　所長（兼 センシング技術研究部門　研究部門長）　植村 聖 氏

【基調講演】10:40～11:10
「データ連携による人・ロボット・工作機械協調と柔軟な工程間連携に向けて」
次世代ものづくり実装研究センターでは、ものづくり基盤加工技術について、その知識基盤の整備、および知識基盤で強化されたAI技術、DX技術、ロボット技術等の開発を実施している。研究成果は次世代ものづくり実装模擬環境として整備を進め、少人数で変種変量の生産に対応するサイバーフィジカルシステム（CPS）の構築を目指している。
●産業技術総合研究所　次世代ものづくり実装研究センター　研究センター長　増井 慶次郎 氏

【セミナー①】11:10～11:30
「低温スパッタリング成膜装置の開発とその応用」
「それ、成膜できませんよね？」を覆す。生き物を壊さず、そのままの表面に40℃未満で金属成膜を可能にする低温スパッタ技術を開発しました。5W以下の低電力運転も可能で「不可能」とされた低ダメージ成膜が実現できます。講演では本技術以外にバイオミメティクス応用例についても紹介します。
●産業技術総合研究所　センシング技術研究部門　センシングマテリアル研究グループ　主任研究員　本村 大成 氏

【セミナー②】11:30～11:50
「ダイヤモンド半導体・センサ市場の現在地」
人工ダイヤモンドは、高温・耐放射線性デバイス、化学センサ、量子センサ等の分野において新たな市場創出が期待されており、また日米投資案件の第1号として取り上げれられるなど産業界からの関心が高まっています。本講演では、ダイヤモンド半導体およびセンサ市場を俯瞰し、そのカギとなるCVD成膜技術、デバイスプロセス技術について最新の研究成果を交えて解説いたします。
●産業技術総合研究所　センシング技術研究部門　IoT化学センサ研究グループ　主任研究員　大曲 新矢 氏

【セミナー③】13:30～13:50
「土壌中水銀のその場測定を実現する電気化学センサ」
土壌中の水銀は健康に大きなリスクとなります。本講演では、現場でそのまま測れる電気化学センサ技術を紹介します。公定法で必要となる試料搬送や大型分析装置を不要とし、迅速・低コストで水銀汚染を把握できる仕組みは25mプールに１滴しか混入していない濃度の水銀を簡易検査することに成功しています。
●産業技術総合研究所　センシング技術研究部門　IoT化学センサ研究グループ　主任研究員　竹村 謙信 氏

【セミナー④】13:50～14:10
「AE（音響放射）計測技術とCMPプロセスへの応用」
製造装置や構造物が発生する微小な振動を計測することで、加工状態や異常の兆候を捉えるAE（音響放射）の計測技術は、目に見えない工程内部の状態を外部から把握する手法として活用が広がっています。本講演ではAE計測技術の概要と、製造プロセスへの適用例としてCMPプロセスへの活用事例を含む取り組みについて紹介します。
●産業技術総合研究所　センシング技術研究部門　製造センシング研究グループ　研究員　武井 裕樹 氏

【セミナー⑤】14:10～14:30
「光計測の現場導入に向けた小型光センサの開発の取り組み」
光計測は基礎研究から民生機器まで幅広く活用されていますが、現場での活用を広げるには性能・サイズ・コストのトレードオフが課題となります。本講演では、従来設置が困難であった機器内部への組込みや、送液ラインにおける連続・多点監視を想定し、用途特化による簡略化や半導体・MEMS技術の導入による小型光センサ開発の考え方と事例を紹介します。
●産業技術総合研究所　センシング技術研究部門　IoT化学センサ研究グループ　主任研究員　森田 伸友 氏

【セミナー⑥】14:50～15:10
「レーザーアブレーション　～光を利用したモノづくり技術の紹介～」
レーザー照射で材料を切削するレーザーアブレーション。実は、材料に合わせて波長・パルス幅等を適切に調整すると、ただ切断するだけでなく、材料の機能を高める表面処理等を行うことができるようになります。講演では産総研が有するレーザー加工設備による「そんなこともできるんだ」と驚く新しいモノづくり事例を紹介します。
●産業技術総合研究所　センシング技術研究部門　製造センシング研究グループ付　鈴木 大地 氏

【セミナー⑦】15:10～15:30
「高機能部材開発のためのロボット活用とスマートラボシステム開発」
微細構造体を活用し、光・電波や濡れ性を制御する高機能部材の開発を行っています。協働ロボットによる試料作製・計測の自動化や、スマートフォン連携のラボ管理システムを構築し、研究の効率化とデータ活用を推進しています。見逃しがちなデータの発見を通じて、高機能材料開発とプロセス知見の蓄積を進めており、その成果とラボDXを紹介します。
●産業技術総合研究所　製造基盤技術研究部門　表面機能・トライボロジー研究グループ　主任研究員　桑野 玄気 氏

【閉会挨拶】15:30
●産業技術総合研究所　センシング技術研究部門　副研究部門長　山下 健一 氏